声光电公司“造芯往事”:我国第一块大规模集成电路芯片“芯”起源
声光电公司集成电路产业发展可以追溯到1960年代。为加强战备,1968年国防科委以河北半导体研究所(现中国电科13所)第五研究室为主体组建成立固体电路研究所,并命名“中国人民解放军第一四二四研究所”(即“四川固体电路研究所”,现声光电公司24所),他们是中国军用集成电路的一支劲旅,一支闯关夺隘的先头部队(成字128部队),也是我国目前最重要的模拟集成电路研究所。
响应祖国号召 相聚永川箕山
草木葳蕤,雨后初晴。
1970年的初春,一辆从石家庄南下的绿皮列车,如巨龙般穿越广袤的大地。渐渐地车速慢了,一个连一个的隧洞,组成一段漫长而单调的旅程。
一名戴宽边眼镜、脸色沉静的年轻人倚窗而坐,望向窗外不停变换的景色,像在思考又似在期待着什么。他就是中国集成电路技术早期研究人员、微电子技术专家、后来的中国工程院院士许居衍。
上个世纪60年代,在“好人好马上三线”的时代号召下,迁徙浪潮随之而来。一大批正值芳华的青年离开繁华的城市,来到西南的大山,投身军工事业建设。
在这其中,有大批的技术专家随军南下,许居衍就是其中的一员。
这一年,许居衍36岁,1957年毕业于北京大学物理系,先后担任第十研究院第10研究所和第13研究所课题组长。接到奔赴24所的调令后,他既兴奋又有几分忐忑,但毫不犹豫,立即前往。
此心安处是吾乡。许居衍来到正在建设中的群山环抱的研究所报到。从此,与来自祖国四面八方的人一样,他人生十五年的峥嵘岁月就在这偏远的西南,与我国集成电路事业紧紧连在一起。
许居衍办公室的灯,常常亮到深夜;案头的图纸,堆得有半尺高,阅览室、图书室、资料室留下了他孜孜不倦的身影。
寒来暑往,岁复一岁。15年间,许居衍历任24所第一研究室课题组长、第五研究室主任、所副总工程师、总工程师,与24所全体员工一起见证了我国第一块大规模集成电路研制成功,见证了24所成为行业排头兵的科研奋斗历程。
牢记初心使命 提前布局攻关
搬迁永川以后,大家一安顿下来,24所领导和科研人员就敏锐地认识到,根据世界集成电路发展趋势,必须尽早布局、谋划开展大规模集成电路研究。
当时,全所都在为大规模集成电路的开局与研究尽心尽力,准备各种基础条件,四室主任蹇哲人、副主任李添臣、技术组章以信至今还清晰地记得,为研发大规模集成电路,他们进行的艰辛工作与探索。
他们都没有忘记进行此项工作的初心,异口同声地说:“24所是国家非常重要的集成电路专门研究所,追踪世界科技前沿,服务国家现实与长远需要,就是我们科研工作的根本,也是科研所水平与实力的标志。对此,无论有何种苦难,我们必须担当,我们责无旁贷。”
决心是一回事,谋划是一回事,付诸实践,才是最重要的事。
大规模集成电路对线条的要求是越来越细,线宽要最小,对器件内各层的要求是越来越薄,最终的产品要更加小型化。
由于国外技术封锁,没有完整可行的资料。科研人员就尽量利用非常有限的外文资料,悉心学习、研究,发现其有用的蛛丝马迹,像在大海里捞起几颗有用的珍珠。
所里先后派出科研人员与技术工人,到北京的兄弟单位学习净化技术,到上海去学习光刻技术。
开展大规模集成电路研究,首先必须攻克净化难关,改造净化厂房。所里同志自己动手,开始了改建工作……
为了提高产品成品率与质量,在工艺管理上,实行了光刻包批。以前,光刻要经过不同人员的手,责任落实不到位,实行光刻包批,由一个人负责到底,大大增强了责任心,产品的质量更有保证。
科研成果显著 填补国内空白
老科研人员钟秉福在他的一篇充满情感的回忆文章《我的回忆》中,充分表达了老一辈科研人员炽热的报国之志,记叙了七十年代攻坚克难,取得一个又一个科研成果的辉煌岁月。
那些激情燃烧的岁月,在他的胸怀间汩汩流淌,永难磨灭。
当时,他在三室301课题组,他同大家一起,从打扫卫生、地板打蜡、安装调试设备、加工常用器材做起,很快串通工艺线,开始科研工作。
那时,科研工作时间紧、任务重、条件艰苦,加班加点成了家常便饭,即便累得腰酸背疼,也从不叫苦叫累。为了科研,人人如此,个个一样。经过一个多月的奋斗,打通了流水线,科研工作逐渐步入了正轨。
他和同事们面临很多困难,但是,大家只有一个信念:国家的事,是大事,个人的事,是小事,齐心协力搞好三线建设,这才是最大的事。
“我们努力研制出国家需要的技术成果,很多填补了国内的空白。我们每年都举行成果鉴定会,同行祝贺,各级领导高度评价,报喜的锣鼓响彻箕山之下、跳石河畔。国家高层领导江泽民、丁衡高、聂力等先后来所视察,给我所的科研工作以充分的肯定和高度评价”。钟秉福自豪地写到。
一代代集成电路人始终秉持爱国奉献、永不放弃的初心,写下了壮丽的时代奋斗答卷,成功研制出国内诸多“第一”:
我国第一颗PMOS型大规模集成电路(LSI)-120位MOS移位寄存器,实现了从中小集成电路发展到大规模集成电路的跨越;
我国第一个1K、4K静态存储器(SRAM)、第一块超大规模集成电路单电源16K位动态存储器(DRAM)、第一块ECL电路S12、第一个ECL10K系列和ECL100K系列电路;
第一代运算放大器系列、集成稳压电源系列和第一套彩色电视机成套电路系列;
第一块A/D、D/A转换器、第一批抗加模拟电路、第一块RF频率合成器、第一块大规模射频接收机单片模拟集成电路……
一代集成电路人的丰功伟绩,已经镌刻在共和国的史册之中。他们的崇高精神,犹如经霜的红叶,绚丽如霞。
今日,“声光电磁”人没有懈怠,没有停步。
他们肩负着“军工电子国家队、科技创新骨干力量、电子信息技术产业领头羊”的责任担当,发展我国集成电路事业的光荣使命,急国家之所急,为掌握芯片前沿技术,继承发扬先辈的光荣传统。
他们放眼世界,心怀祖国,在科技报国、科技兴国、实现中国梦的康庄大道上奋勇前进,奋力拼搏!
他们的科研事业,已经融入到新时代的伟大洪流之中,汹涌澎湃,一往无前!