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压电陶瓷微致动器及驱动电源

来源:信息发布     作者:信息发布人员     发布时间:2017年10月09日     浏览次数:         

  26所自八十年代初研究成功PLZT电致伸缩陶瓷材料,开发出WTDS-1A型电致伸缩陶瓷微位移器以来,相继研究开发了一百多个规格的电致伸缩微位移器件,这些器件在电控精密微定位,微驱动等领域得到了广泛的应用(精密仪器、光电仪器、精密机械、生物工程、地震预报等),现在已有400余个单位成功地应用我所的WTDS系列器件开发了许多新产品,解决了大量的微定位、微驱动问题,得到了用户的一致好评。

  1、WTDS系列电致伸缩陶瓷微位移器

  WTDS电致伸缩微位移器是由PLZT陶瓷材料(在电场作用下,该材料晶格定位引起介电驰豫而发生形变),独石叠层工艺制作而成的。它是一种高分辨率电压控制微小应变的器件。其位移量是由叠层数和电场大小控制的。它具有工作电压低、分辨率高、响应快、滞后小、回零再现性好、无老化现象、稳定性好等突出优点。它是光学、机械加工、电子、航空、生物、医学、遗传工程和光纤通讯等领域中实现超精定位、超精加工、误差补偿、相位调制等功能的理想执行器件。该器件定位精度可达亚微米级,分辨率可达到几十纳米。

  2、WTYD系列压电陶瓷微位移器

   WTYD系列压电陶瓷微位移器是采用具有高压电应变常数的压电陶瓷材料,经叠层工艺制作的压电叠堆器件,它的工作原理是利用压电陶瓷的逆压电效应,即在电场作用下,产生形变,在弹性限度内,该形变与外加电场成线性关系,电场极性改变,形变性质发生改变(伸长或缩短)。WTYS系列微位移器选用条件与WTDS系列基本相同,WTDS系列所有尺寸的器件均可用WTYD实现。WTYD驱动电压一般为0~+200VAD或0~100VAD,允许施加负电压最大绝对值为正常工作最高电压的40%。

  3、精密微定位工作台

  精密微定位工作台,具有极高的位移分辨率和重复定位精度、控制方便,采用机构一体化设计。可作为微位移、微定位的基础平台应用于微型机械制造、超精密加工、生物工程、集成电路制造、医疗科学、光纤对接、光学微处理系统。、航空航天领域、扫描探针显微镜、扫描隧道显微镜和CCD的快速位移,提高像素等。